<DMD無掩膜光刻機SMART PRINT UV-上海昊量光電設備有限公司

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DMD無掩膜光刻機

簡要描述:DMD無掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術的無掩模光刻設備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。

  • 產品型號:SMART PRINT UV
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-06-23
  • 訪  問  量:2921
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詳細介紹
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域電子主要特性兼容i、h、g線光刻膠

DMD無掩膜光刻機

DMD無掩膜光刻機SMART PRINT UV是一種基于DMD投影技術的無掩模光刻設備,可兼容多種電阻和基片。SMART PRINT UV可以生產任何微米分辨率的二維形狀,而不需要硬掩模。基于改進后的標準投影技術,投影出具有微米分辨率的圖像,無掩膜光刻機SmartPrint無需任何進一步步驟,就能直接從數字掩模光刻出您要的圖。無掩膜光刻機SmartPrint主要應用是微流體,生物技術和微電子等領域光刻表面微納圖案。

 

DMD無掩膜光刻機主要特性:

兼容i、h、g線光刻膠

SmartPrint-UV配備了385 nm LED源,以兼容標準i, h和g線光刻膠,如SU8或AZ®1500系列

 

適用于各種各樣的基材

我們的物鏡范圍經過精心選擇,具有較長的工作距離(高達3厘米),使SP-UV成為一種非接觸式技術,因此兼容非標準基材(非平的,靈活的,厚的)。

 

可調直寫范圍和分辨率——用戶可獲得四種不同的直寫分辨率      

 優(yōu)直寫分辨率1.5um                                                                     

                                     

 

兼容任何尺寸的樣品,最大5平方英寸                                         

對齊方式直觀——反饋相機與第二束590nm準直光源疊加使用

                       

 

體積小,性價比高

 

DMD無掩膜光刻機應用領域:

               

 光器件         微流控         微電子

 

DMD無掩膜光刻機指標參數:

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